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用于热丝化学气相沉积衬底表面温度测量的装置

1074   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 06:47:30
本发明公开了一种用于热丝化学气相沉积衬底表面温度测量的装置,包括气相沉积系统和用于检测衬底温度的测温装置,所述的气相沉积系统包括密闭腔室,在密闭腔室的内部设有基片台,基片台端面用于放置衬底,基片台的底部固定用于驱动基片台运动的旋转轴,旋转轴的另一端从密闭腔室的底部伸出;所述的测温装置为红外测温仪,在密闭腔室的侧壁设有测量通道,测量通道的端部设有观察窗,所述红外测温仪的探头与所述观察窗对正。该装置可用于热丝化学气相沉积过程中,衬底表面温度的测定。通过采用红外测温的技术,实时无损的监测该温度在反应过程中的变化情况。该技术属于非接触式测量技术,不会对反应过程中基片台的其它行为(如旋转、升降等)产生影响。
声明:
“用于热丝化学气相沉积衬底表面温度测量的装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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