合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:北方有色 >

有色技术频道 >

> 化学分析技术

> 填充有金属的沟槽结构及形成方法及化学机械研磨方法

填充有金属的沟槽结构及形成方法及化学机械研磨方法

1062   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 06:57:44
本发明提供了一种形成填充有金属的沟槽结构的方法,该方法包括:提供一半导体衬底,在半导体衬底上依次沉积形成刻蚀终止层、第二绝缘层和第一绝缘层;在第一绝缘层的表面涂布光阻胶层,并曝光显影图案化所述光阻胶层,图案化光阻胶层的开口用于定义沟槽的位置;以所述图案化的光阻胶层为掩膜,对第一绝缘层和第二绝缘层依次进行刻蚀,在刻蚀终止层停止刻蚀,形成沟槽;在所述沟槽内填充金属,所述金属的高度高于所述第一绝缘层的高度。本发明还提供了一种根据上述方法形成的沟槽结构,以及适用于该沟槽结构的化学机械研磨方法。本发明在化学机械研磨过程中提高了晶片与晶片间的金属方块电阻均匀性。
声明:
“填充有金属的沟槽结构及形成方法及化学机械研磨方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
咨询细节
标签:
化学分析
有色金属设备
有色金属技术
有色金属企业
有色金属资讯
有色金属价格
有色金属报告
热门分类
芯片巨头美光科技获61亿美元补贴 冶金百科 | 锌冶金 - 湿法炼锌(一) 恒邦股份荣登2021年《财富》中国500强排行榜294位 冶金百科 | 铅冶金工艺——火法炼铅(三段炉炼铅法) 亿纬锂能:圆柱电池备受偏爱,海外市场“势在必得” 未来科技:太阳能面板与电池搭载无人机,随时随地享受阳光充能! 有色金属冶炼行业节能降碳改造升级实施指南 小知识 | 铝矾土和铝矿石、铝土矿的区别 2025年新疆光伏电价创新低:每度电仅需0.1648元 冶金百科 | 铝冶金——拜耳法生产氧化铝 小知识 | 什么是水电铝,水电铝的优势有哪些? 冶金百科 | 稀土冶金 - 稀土元素原子半径及离子半径变化规律是什么,何谓镧系收缩? 原来他们都是中南大学杰出校友! 中国十大金矿排名!紫金山金铜矿居榜首 被关停!紫金矿业刚果(金)铜钴矿部分产品辐射含量超标 新能源产业发展方向明确!全国首部新能源产业促进条例发布 衡阳市市委书记秦国文到株冶有色调研 矿山安全 | 露天矿山开采的五大防护措施 历史性时刻!中国新能源汽车的渗透率首次突破50% 火电回血、风光失速:大唐发电净利润飙涨47%掀起的“五大电力”排位战 磷酸铁锂电池组电芯压差变大的原因及解决方法 最快2023年上市!超级“核电池”无需充电能正常使用90年之久 铝合金应用难题被攻克,服役温度从350℃提升至500℃ 冶金百科 | 铜冶金工艺——P-S转炉吹炼 《钴产业发展报告(2025)》重磅发布--助你穿透行业迷雾,把握战略机遇 冶金百科 | 铜冶金-湿法炼铜小知识(一) 萤石小知识 | 萤石产地在哪?萤石矿的伴生矿有哪些? 2024年度邱定蕃有色冶金青年科技奖获奖名单 填补国内空白!中国首个分布式光伏建设领域安全规程正式发布实施 2025年8月中国动力电池行业报告:龙头企业优势明显
北方有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

热门专家
更多+

报告下载

铼产业报告(2026)
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传

慧博士报告
更多+

环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记