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化学机械抛光传输机器人系统

799   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 06:58:11
本发明提出一种化学机械抛光传输机器人系统,包括:执行机构包括机器人本体和支撑装置,机器人本体包括爪、手爪翻转机构、小臂体、大臂体和套筒,支撑装置包括:直线导轨滑台和导轨丝杠;检测器用于检测执行机构的工作状态参数以生成检测信息;控制装置用于控制手爪的运动位移和运动角度,包括:上位控制器、主控制器、运动控制器、伺服驱动器、电机和编码器,上位机控制器用于接收用户输入的操作指令;编码器用于检测相应的电机的状态信息;主控制器用于生成执行机构的运动指令,运动控制器用于按照预设控制算法计算电机控制量;伺服驱动器用于计算相应电机的控制转矩;电机用于在相应的控制转矩的控制下驱动执行机构运动。
声明:
“化学机械抛光传输机器人系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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