合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:北方有色 >

有色技术频道 >

> 化学分析技术

> 液体输送系统和化学机械研磨装置

液体输送系统和化学机械研磨装置

890   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 06:58:59
本实用新型提供一种应用于化学机械研磨的液体输送系统和包括液体输送系统的化学机械研磨装置,其中所述液体输送系统包括:输送管;用于控制输送管通断的控制开关和分配器,所述分配器位于所述输送管的其中一个末端,具有与所述输送管相通的一个或多个喷嘴;以及与所述输送管相连的流量控制器,用于检测并提供研磨溶液的流量信息。相较于现有技术,本实用新型能够对输送的研磨溶液的流量进行管控,避免出现因流量过高或过低而影响待研磨晶片在化学机械研磨中的去除率的问题,从而制作出符合要求的合格产品,提高产品的良率。
声明:
“液体输送系统和化学机械研磨装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
咨询细节
标签:
化学分析
有色金属设备
有色金属技术
有色金属企业
有色金属资讯
有色金属价格
有色金属报告
热门分类
冶金百科 | 铅冶金工艺——火法炼铅(底吹熔炼—鼓风炉还原熔炼—烟化炉烟化法(SKS法)) 亿纬锂能:2023年实现总营收飙升,同比增长34.38% 班坎金矿凸显潜力,或有望成为几内亚最大金矿 维里迪斯矿业公司稀土矿项目回收率达到世界最高水平 推动节能降碳!陕西省有色金属行业碳达峰实施方案发布 锂离子电池小百科 | 电池标识及电池性能与测试 冶金百科 | 有色金属冶金基础知识 中国十大金矿排名!紫金山金铜矿居榜首 关于皮带机转运溜槽块料检堵解决方案的研究与改进 | 际科工业控制系统(天津)有限公司与您相约湖南长沙第二届金属矿山采矿设备供应商大会暨标准讨论会! 2025年新疆光伏电价创新低:每度电仅需0.1648元 小知识 | 金属钼了解一下 小知识 | 什么是水电铝,水电铝的优势有哪些? 最快2023年上市!超级“核电池”无需充电能正常使用90年之久 历史性时刻!中国新能源汽车的渗透率首次突破50% 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(一) 600万吨氧化铝、240万吨电解铝!东方希望大手笔布局拉开帷幕 生态环境部印发《固体废物分类与代码目录》,废旧锂电池正式纳入固废管理 储能电池出口迎来爆发式增长,锂电企业纷纷拓展海外市场 火电回血、风光失速:大唐发电净利润飙涨47%掀起的“五大电力”排位战 铜业百科 | 铜及铜合金热处理概述 金属百科 | 稀贵金属—“铼” 冶金百科 | 有色冶金固体废物排放情况 小知识 | 什么是钠离子电池?比起锂电池有什么优势? 2024年度邱定蕃有色冶金青年科技奖获奖名单 萤石小知识 | 萤石产地在哪?萤石矿的伴生矿有哪些? 中国电建以61亿元成功竞得云浮超大砂石矿权 开辟新领域!电池企业纷纷布局低空市场 芯片巨头美光科技获61亿美元补贴 小知识 | 钛合金是如何制造锻压的?它可以运用到哪些领域? 中科固能:总投资60亿,预计2030年之前建成全固态电池产业园
北方有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

热门专家
更多+

报告下载

铼产业报告(2026)
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传

慧博士报告
更多+

环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记
0.245780s