合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:北方有色 >

有色技术频道 >

> 化学分析技术

> 化学机械抛光方法

化学机械抛光方法

1003   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 07:00:47
本发明公开了一种化学机械抛光方法,所述化学机械抛光方法包括:A)利用终点测量装置测量晶圆上的多个点的膜厚前值;B)根据多个点的膜厚前值对晶圆进行化学机械抛光;和C)利用终点测量装置测量多个点的膜厚后值,并根据多个点的膜厚后值来判断晶圆的表面抛光厚度是否均匀,如果晶圆的表面抛光厚度不均匀,则根据多个点的膜厚前值与膜厚后值的差值对晶圆进行化学机械抛光直至晶圆的表面抛光厚度均匀。利用根据本发明实施例的化学机械抛光方法对晶圆进行化学机械抛光时无需再使用在线测量装置,从而不仅可以大大地简化进行化学机械抛光的化学机械抛光设备的结构,降低化学机械抛光设备的成本,而且可以大大地降低晶圆的化学机械抛光成本。
声明:
“化学机械抛光方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
咨询细节
标签:
化学分析
有色金属设备
有色金属技术
有色金属企业
有色金属资讯
有色金属价格
有色金属报告
热门分类
天一萃取离心萃取机荣获“创新星级品牌”奖 冶金百科 | 锌冶金 - 湿法炼锌(一) 恒邦股份荣登2021年《财富》中国500强排行榜294位 中原关键金属实验室主任何季麟:建设国家级关键金属创新高地 储能电池出口迎来爆发式增长,锂电企业纷纷拓展海外市场 亿纬锂能:圆柱电池备受偏爱,海外市场“势在必得” 关于皮带机转运溜槽块料检堵解决方案的研究与改进 | 际科工业控制系统(天津)有限公司与您相约湖南长沙第二届金属矿山采矿设备供应商大会暨标准讨论会! 最快2023年上市!超级“核电池”无需充电能正常使用90年之久 冶金百科 | 铜冶金工艺——P-S转炉吹炼 冶金百科 | 铜冶金-湿法炼铜小知识(一) 冶金百科 | 铅冶金工艺——火法炼铅(底吹熔炼—鼓风炉还原熔炼—烟化炉烟化法(SKS法)) 小知识 | 什么是水电铝,水电铝的优势有哪些? 未来科技:太阳能面板与电池搭载无人机,随时随地享受阳光充能! 南山铝业第一家海外电解铝项目将落户印尼,规划产能为100万吨 原来他们都是中南大学杰出校友! 四川生态修复带来大变化,废弃矿山变绿洲 维里迪斯矿业公司稀土矿项目回收率达到世界最高水平 铜业百科 | 辨别纯铜的方法有哪些 萤石小知识 | 萤石产地在哪?萤石矿的伴生矿有哪些? 衡阳市市委书记秦国文到株冶有色调研 普鲁士蓝的有趣特性:不只是颜料,还可以用来回收金属,做电池及杀死肿瘤细胞? 六大选矿工艺,搞定锂辉石选矿 冶金百科 | 铅冶金工艺——火法炼铅(三段炉炼铅法) 动力电池向高能量密度迭代,固态电池成“兵家必争之地” 新能源产业发展方向明确!全国首部新能源产业促进条例发布 《钴产业发展报告(2025)》重磅发布--助你穿透行业迷雾,把握战略机遇 2025年新疆光伏电价创新低:每度电仅需0.1648元 磷酸铁锂电池组电芯压差变大的原因及解决方法 矿权出让!中国的最大的钒钛磁铁矿铁矿红格南矿区即将出让矿权 锂离子电池小百科 | 电池标识及电池性能与测试
北方有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

热门专家
更多+

报告下载

铼产业报告(2026)
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传

慧博士报告
更多+

环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记