合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:北方有色 >

有色技术频道 >

> 化学分析技术

> 用于在化学机械抛光中控制晶片温度的设备及方法

用于在化学机械抛光中控制晶片温度的设备及方法

1238   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 07:00:52
在化学机械抛光操作中用以控制晶片温度的设备与方法。一晶片承载器(66)具有一晶片安装表面,用以将晶片定位在相邻于热能转移单元(64)之处,以转移相关于晶片(52)的能量。一热能探测器(54)的定位相邻于晶片安装表面,以探测晶片(52)的温度。一控制器(60)响应该探测器(54),以控制供应至热能转移单元(64)的热能。实施例则包括界定晶片的独立区域,为每个独立区域提供热能转移单元(64)的独立区块以及独立地探测每个独立区域的温度,以独立地控制对于与独立区域相关的热能转移单元(64)的热能供应。
声明:
“用于在化学机械抛光中控制晶片温度的设备及方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
咨询细节
标签:
化学分析
有色金属设备
有色金属技术
有色金属企业
有色金属资讯
有色金属价格
有色金属报告
热门分类
电动汽车超充时代到来!宁德时代发布神行PLUS电池 维里迪斯矿业公司稀土矿项目回收率达到世界最高水平 被关停!紫金矿业刚果(金)铜钴矿部分产品辐射含量超标 坐在铜矿上的国家​:“铜矿之国”赞比亚到底有多“壕”? 中国十大金矿排名!紫金山金铜矿居榜首 萤石小知识 | 萤石产地在哪?萤石矿的伴生矿有哪些? 原来他们都是中南大学杰出校友! 恒邦股份荣登2021年《财富》中国500强排行榜294位 小知识 | 什么是钠离子电池?比起锂电池有什么优势? 普鲁士蓝的有趣特性:不只是颜料,还可以用来回收金属,做电池及杀死肿瘤细胞? 火电回血、风光失速:大唐发电净利润飙涨47%掀起的“五大电力”排位战 有色金属:六种战争金属性能详解 生态环境部印发《固体废物分类与代码目录》,废旧锂电池正式纳入固废管理 两轮电动车迎来“刀片电池”时代!续航突破 500 公里,电池终身免更换 班坎金矿凸显潜力,或有望成为几内亚最大金矿 冶金百科 | 锌冶金 - 湿法炼锌(一) 未来科技:太阳能面板与电池搭载无人机,随时随地享受阳光充能! 冶金百科 | 铅冶金工艺——火法炼铅(底吹熔炼—鼓风炉还原熔炼—烟化炉烟化法(SKS法)) 几秒钟即可充满!韩国研究团队在钠离子电池技术方面取得重大突破 2025年新疆光伏电价创新低:每度电仅需0.1648元 展商推荐 | 威格科技(苏州)股份有限公司邀您出席第三届全国钒钛资源与储能科技大会 CWL-M离心萃取器助力打造湿法冶金绿色萃取车间 冶金百科 | 有色金属冶金基础知识 亿纬锂能:2023年实现总营收飙升,同比增长34.38% 芯片巨头美光科技获61亿美元补贴 磷酸铁锂电池组电芯压差变大的原因及解决方法 方圆公司赴台技术服务团队凯旋 冶金百科 | 有色冶金企业单位产品能源消耗——铝冶金企业单位产品能源消耗 陕西:推出有色金属行业碳达峰实施方案,推动全产业链节能降碳 衡阳市市委书记秦国文到株冶有色调研
北方有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

热门专家
更多+

报告下载

铼产业报告(2026)
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传

慧博士报告
更多+

环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记