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压阻式自检测自激励SECM探针

965   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 07:13:10
本申请公开了一种压阻式自检测自激励SECM探针,涉及扫描电化学显微镜领域,包括主体支撑结构;与主体支撑结构集成的悬臂梁;设于悬臂梁表面的针尖;覆盖于针尖的金属层,用于连接输入端,并通过输入端输入的电压或电流产生电热作用,使悬臂梁发生形变,以使悬臂梁向待测样品施加作用力;设于主体支撑结构上表面的惠斯通电桥,用于当悬臂梁向待测样品施加作用力时,输出与作用力对应的检测信号。本申请针尖上的金属层在电热作用下使悬臂梁产生弯曲形变,从而向待测样品施加作用力,实现自激励;当悬臂梁产生弯曲形变,惠斯通电桥中可变电阻的阻值发生变化,输出检测信号,实现压阻自检测,不需设置四象限探测器和激光器,简化结构和操作难度。
声明:
“压阻式自检测自激励SECM探针” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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