合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:北方有色 >

有色技术频道 >

> 化学分析技术

> 单晶硅表面划痕损伤层厚度的检测方法

单晶硅表面划痕损伤层厚度的检测方法

1104   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 07:13:10
一种单晶硅表面划痕损伤层厚度的检测方法,其步骤是:A、在化学机械抛光法抛光后的单晶硅晶圆上切取出单晶硅样品,对其使用原子力显微镜进行扫描,得到单晶硅样品表面的三维形貌,并测出其中的凹陷深度;B、将单晶硅样品放置于质量分数为15-25%的HF溶液中刻蚀20-40分钟,取出单晶硅样品并用丙酮和酒精依次清洗,再使用原子力显微镜进行扫描,得到刻蚀后的单晶硅样品表面三维形貌,并测出其中的凹陷深度;C、将B步得到的凹陷深度与A步的对应位置处的凹陷深度相减,得到刻蚀后凹陷深度增加值即为单晶硅表面划痕损伤层厚度。该方法的制样、检测过程简单,检测时间短、所需样本材料小、检测成本低,检测结果精确、直观。
声明:
“单晶硅表面划痕损伤层厚度的检测方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
咨询细节
标签:
化学分析
有色金属设备
有色金属技术
有色金属企业
有色金属资讯
有色金属价格
有色金属报告
热门分类
中国电建以61亿元成功竞得云浮超大砂石矿权 没资质千万别碰!无证回收废电池违法! 冶金百科 | 铜冶金工艺——奥图泰闪速熔炼 原来他们都是中南大学杰出校友! 金属百科 | 锑的历史与发展 坐在铜矿上的国家​:“铜矿之国”赞比亚到底有多“壕”? 冶金百科 | 锌冶金 - 湿法炼锌(一) 冶金百科 | 有色冶金企业单位产品能源消耗——铝冶金企业单位产品能源消耗 小知识 | 什么是钠离子电池?比起锂电池有什么优势? 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(一) 矿权出让!中国的最大的钒钛磁铁矿铁矿红格南矿区即将出让矿权 锂离子电池小百科 | 电池标识及电池性能与测试 两轮电动车迎来“刀片电池”时代!续航突破 500 公里,电池终身免更换 矿山安全 | 露天矿山开采的五大防护措施 2.86亿!复合材料龙头获得C轮融资 普鲁士蓝的有趣特性:不只是颜料,还可以用来回收金属,做电池及杀死肿瘤细胞? 衡水市:独立储能发展布局指导方案印发 天一萃取离心萃取机荣获“创新星级品牌”奖 中国十大金矿排名!紫金山金铜矿居榜首 2025年锂电池行业十大变革性技术 市场竞争加剧,锂电企业纷纷拿出“杀手锏” 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(四) 新技术 | 3D打印与传统加工工艺材料、晶格结构的性能差异 储能电池出口迎来爆发式增长,锂电企业纷纷拓展海外市场 开辟新领域!电池企业纷纷布局低空市场 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(七 ) 六大选矿工艺,搞定锂辉石选矿 班坎金矿凸显潜力,或有望成为几内亚最大金矿 强势上涨!铜价破8万大关,创18年新高 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(五)
北方有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

热门专家
更多+

刘宏亮有色金属专家
刘宏亮

主任 / 教授级高级工程师

李素芹有色金属专家
李素芹

生态工程学院生态系主任 / 教授/博士生导师

报告下载

铼产业报告(2026)
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传

慧博士报告
更多+

环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记
0.204725s