合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:北方有色 >

有色技术频道 >

> 化学分析技术

> 监测刻蚀工艺的方法

监测刻蚀工艺的方法

701   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 07:25:57
本发明是有关于一种监测刻蚀工艺的方法,其先以通气体步骤将不会与具有特定组成的化学液反应的气体以气体管路装置通入化学液中,并得到对应于化学液组成的第一平衡压力,再将待刻蚀的晶圆半成品放入化学液中进行刻蚀步骤,接着进行气体压力侦测步骤记录该气体在该晶圆半成品完成刻蚀步骤后的第二平衡压力,并配合计算步骤计算气体平衡压力差而得知化学液经过刻蚀后的组成变化;本发明不需以另外的控片刻蚀、量测等工艺来监测化学液的刻蚀能力,且可即时又简易地由气体平衡压力的变化来监测化学液的组成成分,进而缩短整体工艺时间、降低生产成本。
声明:
“监测刻蚀工艺的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
咨询细节
标签:
化学分析
有色金属设备
有色金属技术
有色金属企业
有色金属资讯
有色金属价格
有色金属报告
热门分类
衡水市:独立储能发展布局指导方案印发 日产全固态电池试点生产线预计2025年3月投入运营 工信部发布第四批《减免车辆购置税的新能源汽车车型目录》 被关停!紫金矿业刚果(金)铜钴矿部分产品辐射含量超标 电动汽车超充时代到来!宁德时代发布神行PLUS电池 市场竞争加剧,锂电企业纷纷拿出“杀手锏” 600万吨氧化铝、240万吨电解铝!东方希望大手笔布局拉开帷幕 冶金百科 | 铜冶金-湿法炼铜小知识(一) 新技术 | 3D打印与传统加工工艺材料、晶格结构的性能差异 2.86亿!复合材料龙头获得C轮融资 冶金百科 | 稀土冶金 - 稀土元素原子半径及离子半径变化规律是什么,何谓镧系收缩? 欣旺达在固态电池领域取得突破性进展,预计2025年完成产品开发 填补国内空白!中国首个分布式光伏建设领域安全规程正式发布实施 2024年度邱定蕃有色冶金青年科技奖获奖名单 金属材料在芯片工艺上的作用 冶金百科 | 金银冶金 - 金的物理和化学性质是什么? 金的主要化合物有哪些? 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(七 ) 矿权出让!中国的最大的钒钛磁铁矿铁矿红格南矿区即将出让矿权 2025年锂电行业变革:十大关键技术引领行业洗牌 矿山安全 | 露天矿山开采的五大防护措施 冶金百科 | 铅冶金工艺——火法炼铅(三段炉炼铅法) 方圆公司赴台技术服务团队凯旋 冶金百科 | 铜冶金工艺——奥图泰闪速熔炼 金属百科 | 锑的历史与发展 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(一) 铜业百科 | 铜及铜合金热处理概述 储能电池出口迎来爆发式增长,锂电企业纷纷拓展海外市场 2.06亿元“抢滩”固态电池:华域汽车收购上汽清陶49%股权背后的三重逻辑 冶金百科 | 铅冶金工艺——火法炼铅(底吹熔炼—鼓风炉还原熔炼—烟化炉烟化法(SKS法)) 展商推荐 | 威格科技(苏州)股份有限公司邀您出席第三届全国钒钛资源与储能科技大会
北方有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

热门专家
更多+

报告下载

铼产业报告(2026)
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传

慧博士报告
更多+

环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记
0.183887s