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监测特气的装置及半导体设备

816   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 07:27:47
本实用新型提供了一种监测特气的装置及半导体设备,所述监测特气的装置包括指示剂容器、光谱侦测系统、处理器和报警器;指示剂容器内包含指示剂,指示剂用于与特气发生化学反应并发生颜色变化;光谱侦测系统和报警器分别与处理器连接;光谱侦测系统用于获取指示剂的颜色;处理器用于判断是否发生特气泄漏,并控制报警器开启或关闭。指示剂不易受酒精等其它物质干扰,并且可以与微小浓度的特气快速发生化学反应,从而可以在特气发生微量泄漏时即可发出报警信号,提高了安全性。
声明:
“监测特气的装置及半导体设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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