合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:北方有色 >

有色技术频道 >

> 化学分析技术

> CVD沉积速率、产物织构和质量跨尺度预测方法

CVD沉积速率、产物织构和质量跨尺度预测方法

1080   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 07:27:47
本发明提供CVD沉积速率、产物织构和质量跨尺度预测方法,S1建立反应器几何模型和划分网格;添加材料属性;S2建立多物理场模型,建立流体传热和层流模型,计算温度场和流场;S3建立化学和多组分物质传递模型,将先驱体气体反应输入模型,计算化学反应和浓度场分布;S4计算沉积表面浓度,与上一次总迭代计算的结果进行对比,满足收敛要求,流程结束;否则将表面浓度结果输入KMC模型进行下一次迭代;S5构建原子结构,确定表面反应;S6计算吸附、扩散速度,确定一步的原子结构与反应时间;S7若原子结构满足要求厚度,则返回S2;否则返回S5继续迭代计算。在本发明的基础上进行沉积工艺参数的优化,得到沉积产物织构可控,质量好的CVD产品。
声明:
“CVD沉积速率、产物织构和质量跨尺度预测方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
咨询细节
标签:
化学分析
有色金属设备
有色金属技术
有色金属企业
有色金属资讯
有色金属价格
有色金属报告
热门分类
推动节能降碳!陕西省有色金属行业碳达峰实施方案发布 芯片巨头美光科技获61亿美元补贴 冶金百科 | 有色金属冶金基础知识 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(七 ) 铜业百科 | 铜合金的分类及合金元素的作用 有色金属:六种战争金属性能详解 没资质千万别碰!无证回收废电池违法! 冶金百科 | 铜冶金工艺——P-S转炉吹炼 冶金百科 | 锌冶金 - 湿法炼锌(一) 被关停!紫金矿业刚果(金)铜钴矿部分产品辐射含量超标 市场竞争加剧,锂电企业纷纷拿出“杀手锏” 衡水市:独立储能发展布局指导方案印发 原来他们都是中南大学杰出校友! 西工大王锦程团队:难熔高熵合金激光增材制造取得新突破! 锂离子电池小百科 | 电池标识及电池性能与测试 维里迪斯矿业公司稀土矿项目回收率达到世界最高水平 冶金百科 | 铅冶金工艺——火法炼铅(底吹熔炼—鼓风炉还原熔炼—烟化炉烟化法(SKS法)) 磷酸铁锂电池组电芯压差变大的原因及解决方法 矿权出让!中国的最大的钒钛磁铁矿铁矿红格南矿区即将出让矿权 2025年新疆光伏电价创新低:每度电仅需0.1648元 冶金百科 | 稀土冶金 - 稀土元素原子半径及离子半径变化规律是什么,何谓镧系收缩? 萤石小知识 | 萤石产地在哪?萤石矿的伴生矿有哪些? 方圆公司赴台技术服务团队凯旋 亿纬锂能:2023年实现总营收飙升,同比增长34.38% 未来科技:太阳能面板与电池搭载无人机,随时随地享受阳光充能! 班坎金矿凸显潜力,或有望成为几内亚最大金矿 冶金百科 | 铝冶金——拜耳法生产氧化铝 强势上涨!铜价破8万大关,创18年新高 冶金百科 | 铜冶金工艺——奥图泰闪速熔炼 四川生态修复带来大变化,废弃矿山变绿洲
北方有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

热门专家
更多+

报告下载

铼产业报告(2026)
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传

慧博士报告
更多+

环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记
0.190842s