合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:北方有色 >

有色技术频道 >

> 化学分析技术

> 三维双面硅微条探测器及其制备方法

三维双面硅微条探测器及其制备方法

845   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 07:27:48
本发明公开了一种三维双面硅微条探测器及其制备方法,包括上部探测单元、下部探测单元和中间半导体基体,上部探测单元的上沟槽电极内均匀嵌有多个相互平行的上半导体基体,上半导体基体内嵌有上中央电极;下部探测单元的下沟槽电极内均匀嵌有多个相互平行的下硅基体,下硅基体内嵌有下中央电极;上半导体基体、上沟槽电极、上中央电极、下硅基体、下沟槽电极和下中央电极高度均相等;下部探测单元位于上部探测单元正下方,且两者在水平方向错开一定角度。通过吸杂氧化工艺在硅晶圆表面生成二氧化硅层,然后经标记与光刻将探测器图形转移到二氧化硅层上,再进行阴极电极和阳极电极的刻蚀和化学沉积扩散,最后进行损伤修复及封装。
声明:
“三维双面硅微条探测器及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
咨询细节
标签:
化学分析
有色金属设备
有色金属技术
有色金属企业
有色金属资讯
有色金属价格
有色金属报告
热门分类
原来他们都是中南大学杰出校友! 金属百科 | 稀贵金属—“铼” 冶金百科 | 铜冶金-湿法炼铜小知识(一) 特斯拉交付量远低于市场预期,正丧失中国市场主动权 矿权出让!中国的最大的钒钛磁铁矿铁矿红格南矿区即将出让矿权 2025年锂电行业变革:十大关键技术引领行业洗牌 冶金百科 | 铜冶金工艺——奥图泰闪速熔炼 没资质千万别碰!无证回收废电池违法! 有色金属:六种战争金属性能详解 铜业百科 | 辨别纯铜的方法有哪些 亿纬锂能:圆柱电池备受偏爱,海外市场“势在必得” 开辟新领域!电池企业纷纷布局低空市场 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(五) 六大选矿工艺,搞定锂辉石选矿 填补国内空白!中国首个分布式光伏建设领域安全规程正式发布实施 芯片巨头美光科技获61亿美元补贴 为减少进口依赖,欧洲时隔10年重启镁矿开采 金属百科 | 锑的历史与发展 小知识 | 钛合金是如何制造锻压的?它可以运用到哪些领域? 铜业百科 | 铜合金的分类及合金元素的作用 冶金百科 | 铜冶金工艺——P-S转炉吹炼 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(七 ) 军工材料中应用最广泛的金属结构材料——铝合金 冶金百科 | 金银冶金 - 金的物理和化学性质是什么? 金的主要化合物有哪些? 铝合金应用难题被攻克,服役温度从350℃提升至500℃ 生态环境部印发《固体废物分类与代码目录》,废旧锂电池正式纳入固废管理 小知识 | 什么是水电铝,水电铝的优势有哪些? 强势上涨!铜价破8万大关,创18年新高 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(一) 中科固能:总投资60亿,预计2030年之前建成全固态电池产业园
北方有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

热门专家
更多+

张瑶有色金属专家
张瑶

中级工程师

葛世荣有色金属专家
葛世荣

中国工程院院士、校长

报告下载

铼产业报告(2026)
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传

慧博士报告
更多+

环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记
0.179943s