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基于单壁碳纳米管薄膜的异质结光电探测器的制备方法

1011   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 07:28:47
本发明涉及光电探测器领域,具体为一种基于单壁碳纳米管薄膜的异质结光电探测器的制备方法。首先利用浮动催化剂化学气相沉积法制备出高性能、柔性单壁碳纳米管薄膜,将沉积于微孔滤膜上的单壁碳纳米管薄膜裁剪成合适尺寸;将其置于预先开设窗口的硅基底上表面,使单壁碳纳米管薄膜与硅基底紧密接触,并移去滤膜后,放置于空气环境下热处理,在窗口处制备一层数纳米厚的诱导氧化层;然后制备上电极(银胶)和下电极(铟镓合金)即得所述光电探测器。本发明异质结光电探测器结构简单,制备过程便捷,所构建的光电探测器具有优异的光电探测性能及稳定性。
声明:
“基于单壁碳纳米管薄膜的异质结光电探测器的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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