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氧化锌纳米线阵列紫外光电探测器的制备方法

1122   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 07:28:49
本发明公开了一种基于氧化纳米线阵列的紫外光电探测器,属于光电子器件领域。本发明利用化学气相沉积技术,通过调节双温区管式炉装中真空压力等实验参数,在氮化镓衬底上实现氧化锌纳米线阵列的均匀可控生长,然后利用透明导电玻璃直接贴压法,得到对365nm紫外光具有毫秒量级的快速响应和恢复时间的紫外光电探测器。本方法工艺简单,材料成本低廉,在快速紫外光电传感器和短波长光电器件领域有广泛的运用前景。
声明:
“氧化锌纳米线阵列紫外光电探测器的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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