合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:北方有色 >

有色技术频道 >

> 化学分析技术

> 工艺颗粒监测处理的方法及半导体工艺设备

工艺颗粒监测处理的方法及半导体工艺设备

954   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 07:28:49
本申请公开了一种工艺颗粒监测处理的方法及半导体工艺设备,属于半导体工艺技术。该方法在半导体工艺腔室闲置时,对半导体工艺腔室进行气体吹扫,且实时监测半导体工艺腔室中的异常气体浓度,得到相应的第一浓度值,异常气体浓度与潜在工艺颗粒源的浓度正相关;若第一浓度值大于所述第一阈值,则在气体吹扫的基础上,将预设气体通入半导体工艺腔室中,使得预设气体与半导体工艺腔室中的潜在工艺颗粒源发生化学反应,生成相应的反应物颗粒,且反应物颗粒在气体吹扫下进入与半导体工艺腔室连通的尾排处理器。本技术方案,可在半导体工艺处理过程中,有效清除半导体工艺腔室中的工艺颗粒,避免出现工艺颗粒超标影响产品良率的问题。
声明:
“工艺颗粒监测处理的方法及半导体工艺设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
咨询细节
标签:
化学分析
有色金属设备
有色金属技术
有色金属企业
有色金属资讯
有色金属价格
有色金属报告
热门分类
普鲁士蓝的有趣特性:不只是颜料,还可以用来回收金属,做电池及杀死肿瘤细胞? 恒邦股份荣登2021年《财富》中国500强排行榜294位 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(五) 矿权出让!中国的最大的钒钛磁铁矿铁矿红格南矿区即将出让矿权 有色金属:六种战争金属性能详解 方圆公司赴台技术服务团队凯旋 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(四) 欣旺达在固态电池领域取得突破性进展,预计2025年完成产品开发 六大选矿工艺,搞定锂辉石选矿 最快2023年上市!超级“核电池”无需充电能正常使用90年之久 新能源产业发展方向明确!全国首部新能源产业促进条例发布 锂离子电池小百科 | 电池标识及电池性能与测试 亿纬锂能:2023年实现总营收飙升,同比增长34.38% 新技术 | 3D打印与传统加工工艺材料、晶格结构的性能差异 市场竞争加剧,锂电企业纷纷拿出“杀手锏” 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(七 ) 开辟新领域!电池企业纷纷布局低空市场 陕西:推出有色金属行业碳达峰实施方案,推动全产业链节能降碳 冶金百科 | 有色冶金企业单位产品能源消耗——铝冶金企业单位产品能源消耗 冶金百科 | 稀土冶金 - 稀土元素原子半径及离子半径变化规律是什么,何谓镧系收缩? 2.86亿!复合材料龙头获得C轮融资 CWL-M离心萃取器助力打造湿法冶金绿色萃取车间 几秒钟即可充满!韩国研究团队在钠离子电池技术方面取得重大突破 冶金百科 | 金银冶金 - 金的物理和化学性质是什么? 金的主要化合物有哪些? 小知识 | 什么是钠离子电池?比起锂电池有什么优势? 火电回血、风光失速:大唐发电净利润飙涨47%掀起的“五大电力”排位战 工信部发布第四批《减免车辆购置税的新能源汽车车型目录》 原来他们都是中南大学杰出校友! 冶金百科 | 铜冶金工艺——P-S转炉吹炼 小知识 | 铝矾土和铝矿石、铝土矿的区别
北方有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

热门专家
更多+

报告下载

铼产业报告(2026)
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传

慧博士报告
更多+

环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记
0.165244s