合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:北方有色 >

有色技术频道 >

> 化学分析技术

> 制造用于热辅助磁记录光输送的干涉测量锥形波导管的方法

制造用于热辅助磁记录光输送的干涉测量锥形波导管的方法

796   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 07:29:08
本发明的名称是制造用于热辅助磁记录光输送的干涉测量锥形波导管的方法。以高临界尺寸均匀性和小线边缘粗糙度制造用于热辅助磁记录(HAMR)头的干涉测量锥形波导管(I-TWG)的方法,其中该方法包括形成I-TWG薄膜堆栈,其中在I-TWG芯层上的两个硬掩模层被夹在两个包层之间,使用深紫外光刻在I-TWG薄膜堆栈上限定光敏抗蚀剂图案,使用反应离子蚀刻(RIE)转移所述图案至第一硬掩模层,使用RIE在第二硬掩模层上形成临时的I-TWG图案,使用RIE转移临时的图案至I-TWG芯,再填充包层和使用化学机械平面化(CMP)进行平面化。
声明:
“制造用于热辅助磁记录光输送的干涉测量锥形波导管的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
咨询细节
标签:
化学分析
有色金属设备
有色金属技术
有色金属企业
有色金属资讯
有色金属价格
有色金属报告
热门分类
衡阳市市委书记秦国文到株冶有色调研 恒邦股份荣登2021年《财富》中国500强排行榜294位 西工大王锦程团队:难熔高熵合金激光增材制造取得新突破! CWL-M离心萃取器助力打造湿法冶金绿色萃取车间 方圆公司赴台技术服务团队凯旋 铝合金应用难题被攻克,服役温度从350℃提升至500℃ 市场竞争加剧,锂电企业纷纷拿出“杀手锏” 没资质千万别碰!无证回收废电池违法! 四川生态修复带来大变化,废弃矿山变绿洲 普鲁士蓝的有趣特性:不只是颜料,还可以用来回收金属,做电池及杀死肿瘤细胞? 电动汽车超充时代到来!宁德时代发布神行PLUS电池 未来科技:太阳能面板与电池搭载无人机,随时随地享受阳光充能! 军工材料中应用最广泛的金属结构材料——铝合金 铜业百科 | 辨别纯铜的方法有哪些 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(七 ) 金属百科 | 稀贵金属—“铼” 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(五) 小知识 | 什么是钠离子电池?比起锂电池有什么优势? 芯片巨头美光科技获61亿美元补贴 恩捷股份硫化锂量产获突破 加速固态电池材料国产化进程 展商推荐 | 威格科技(苏州)股份有限公司邀您出席第三届全国钒钛资源与储能科技大会 被关停!紫金矿业刚果(金)铜钴矿部分产品辐射含量超标 六大选矿工艺,搞定锂辉石选矿 矿山安全 | 露天矿山开采的五大防护措施 动力电池向高能量密度迭代,固态电池成“兵家必争之地” 冶金百科 | 铜冶金工艺——奥图泰闪速熔炼 火电回血、风光失速:大唐发电净利润飙涨47%掀起的“五大电力”排位战 小知识 | 什么是水电铝,水电铝的优势有哪些? 冶金百科 | 有色冶金企业单位产品能源消耗——铝冶金企业单位产品能源消耗 小知识 | 钛合金是如何制造锻压的?它可以运用到哪些领域?
北方有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

热门专家
更多+

报告下载

铼产业报告(2026)
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传

慧博士报告
更多+

环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记
0.205365s