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电容弗里希栅CdZnTe探测器的制备工艺

1051   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 07:29:08
本发明公开了一种电容弗里希栅CdZnTe探测器的制备工艺,包括(1)CdZnTe晶体的表面处理、(2)化学腐蚀、(3)电极制备、(4)表面钝化、(5)清洗、(6)封装等工艺步骤。该发明提供了一种工艺简单、实用,制备出分辨率高的电容弗里希栅CdZnTe探测器的制备工艺。
声明:
“电容弗里希栅CdZnTe探测器的制备工艺” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
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