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薄膜静态腐蚀速率测量方法

891   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 07:29:09
本发明提供了一种薄膜静态腐蚀速率的测量方法。该方法包括:在晶片的衬底上形成薄膜,将晶片的一部分浸泡在化学机械抛光液中,浸泡一段时间后用轮廓仪测量界面处的高度差,从而得到该薄膜的静态腐蚀速率。
声明:
“薄膜静态腐蚀速率测量方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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