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空腔形成方法、热电堆红外探测器及其制作方法

1132   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 07:29:11
本发明提供了一种空腔形成方法、热电堆红外探测器及其制作方法,所述空腔形成方法在硅衬底中形成N阱,在N阱包围的硅衬底中形成N型掺杂的网格结构,并进行电化学腐蚀形成多孔硅层,再通过外延工艺使多孔硅层发生重构形成封闭的空腔。本发明无需通过长时间的湿法腐蚀或干法刻蚀工艺来形成空腔,并且空腔的形成是在金属淀积之前,不存在常规湿法腐蚀硅衬底形成空腔的工艺中对金属的腐蚀问题,此外,该空腔的形成方法比较简单,可与常规CMOS工艺兼容,适于规模化生产。
声明:
“空腔形成方法、热电堆红外探测器及其制作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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