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无掩膜版的图案化薄膜制备方法

933   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 07:29:45
本发明公开了一种无掩膜版的图案化薄膜制备方法。本发明采用激光直写将镀膜材料镀于预处理后的待镀基底上,得到图案化薄膜。当待镀基底位于镀膜材料的上方时,镀膜材料上放上待镀基底,按照设定的图形激光照射,激光透过待镀基底,打在片状/块状镀膜材料上,被打到的镀膜材料形成材料的团簇,溅射到待镀基底上。当待镀基底位于镀膜材料的下方时,在待镀基底上放上镀膜材料,按照设定的图形激光照射,激光打到镀膜材料上,并穿透镀膜材料,该镀膜材料作为镀膜源形成材料的团簇,溅射到待镀基底上。本发明的方法不使用掩膜版,简单实用,成本低廉,并且可以简单的做到各种尺寸和材质基底的图案化镀膜。
声明:
“无掩膜版的图案化薄膜制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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