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低温制备二维柔性离子敏场效应晶体管的方法

1279   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 07:57:09
本发明属于电化学传感器件制造技术领域,具体为一种低温制备二维柔性离子敏场效应晶体管的方法。本发明中,以柔性材料作为衬底,其上沉积图形化金属层作为背电极,在背电极上生长绝缘氧化层,在绝缘介质层上转移二维半导体薄膜,作为器件的导电沟道;在二维半导体薄膜上形成图形化金属层作为该器件的源、漏区;在沟道区域上方沉积功能层材料。本发明利用微波退火工艺低温处理,一方面改善器件各层之间的界面特性,消除测试中由于界面缺陷造成的迟滞、漂移等现象;另一方面,借助功能层材料对微波的吸收作用,与在二维半导体薄膜界面处形成纳米结构的功能层,可应用于不同场景的传感检测。微波退火工艺具有快速,低热预算,制造周期短,成本低廉等优点。
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