合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:北方有色 >

有色技术频道 >

> 化学分析技术

> 加工半导体结构的装置

加工半导体结构的装置

966   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 08:13:37
本发明揭示了一种加工半导体结构的装置,包括第一机械手、晶圆缓存台、第二机械手、膜厚测量装置、电化学抛光腔、清洗腔、预加热腔、第三机械手、干法气相刻蚀腔及后冷却腔。第一机械手在晶圆缓存台、预加热腔及后冷却腔之间传送晶圆;晶圆缓存台放置晶圆;第二机械手在晶圆缓存台、膜厚测量装置、电化学抛光腔及清洗腔之间传送晶圆;膜厚测量装置寻找晶圆上的缺口并测量晶圆上金属层的厚度;电化学抛光腔电化学抛光晶圆;清洗腔清洗和干燥晶圆;预加热腔加热晶圆;第三机械手在预加热腔、干法气相刻蚀腔及后冷却腔之间传送晶圆;干法气相刻蚀腔干法气相刻蚀晶圆;后冷却腔冷却晶圆。本发明的装置结构紧凑,占地面积小,工艺效率高,降低了加工半导体结构的成本。
声明:
“加工半导体结构的装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
咨询细节
标签:
化学分析
有色金属设备
有色金属技术
有色金属企业
有色金属资讯
有色金属价格
有色金属报告
热门分类
冶金百科 | 铜冶金-湿法炼铜小知识(一) 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(四) 冶金百科 | 有色冶金企业单位产品能源消耗——铝冶金企业单位产品能源消耗 Mysteel统计:2023年全球电解铝企业产量TOP15,中国前7席 铝合金应用难题被攻克,服役温度从350℃提升至500℃ 中科固能:总投资60亿,预计2030年之前建成全固态电池产业园 最快2023年上市!超级“核电池”无需充电能正常使用90年之久 新技术 | 3D打印与传统加工工艺材料、晶格结构的性能差异 2025年锂电行业变革:十大关键技术引领行业洗牌 磷酸铁锂电池组电芯压差变大的原因及解决方法 有色金属冶炼行业节能降碳改造升级实施指南 恩捷股份硫化锂量产获突破 加速固态电池材料国产化进程 陕西:推出有色金属行业碳达峰实施方案,推动全产业链节能降碳 未来科技:太阳能面板与电池搭载无人机,随时随地享受阳光充能! 中原关键金属实验室主任何季麟:建设国家级关键金属创新高地 矿山安全 | 露天矿山开采的五大防护措施 填补国内空白!中国首个分布式光伏建设领域安全规程正式发布实施 有色金属:六种战争金属性能详解 几秒钟即可充满!韩国研究团队在钠离子电池技术方面取得重大突破 冶金百科 | 金银冶金 - 金的物理和化学性质是什么? 金的主要化合物有哪些? 小知识 | 金属钼了解一下 中国电建以61亿元成功竞得云浮超大砂石矿权 西工大王锦程团队:难熔高熵合金激光增材制造取得新突破! 欣旺达在固态电池领域取得突破性进展,预计2025年完成产品开发 铜业百科 | 辨别纯铜的方法有哪些 火电回血、风光失速:大唐发电净利润飙涨47%掀起的“五大电力”排位战 2024年度邱定蕃有色冶金青年科技奖获奖名单 动力电池向高能量密度迭代,固态电池成“兵家必争之地” 关于皮带机转运溜槽块料检堵解决方案的研究与改进 | 际科工业控制系统(天津)有限公司与您相约湖南长沙第二届金属矿山采矿设备供应商大会暨标准讨论会! 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(一)
北方有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

热门专家
更多+

报告下载

铼产业报告(2026)
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传

慧博士报告
更多+

环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记