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加工半导体结构的装置

965   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 08:13:37
本发明揭示了一种加工半导体结构的装置,包括第一机械手、晶圆缓存台、第二机械手、膜厚测量装置、电化学抛光腔、清洗腔、预加热腔、第三机械手、干法气相刻蚀腔及后冷却腔。第一机械手在晶圆缓存台、预加热腔及后冷却腔之间传送晶圆;晶圆缓存台放置晶圆;第二机械手在晶圆缓存台、膜厚测量装置、电化学抛光腔及清洗腔之间传送晶圆;膜厚测量装置寻找晶圆上的缺口并测量晶圆上金属层的厚度;电化学抛光腔电化学抛光晶圆;清洗腔清洗和干燥晶圆;预加热腔加热晶圆;第三机械手在预加热腔、干法气相刻蚀腔及后冷却腔之间传送晶圆;干法气相刻蚀腔干法气相刻蚀晶圆;后冷却腔冷却晶圆。本发明的装置结构紧凑,占地面积小,工艺效率高,降低了加工半导体结构的成本。
声明:
“加工半导体结构的装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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