合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:北方有色 >

有色技术频道 >

> 化学分析技术

> 原子层沉积装置和方法

原子层沉积装置和方法

1124   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 08:14:36
在本发明中提供了一种用于原子层沉积的装置和方法,该装置和方法能减小化学用品和反应气体的混合。通过安装和监测前级管道(26),第一产物母体和第二产物母体只有在合适的时间和位置处才能与其它化学药品和反应气体混合。还有,提供了独立和专用的腔室出口(17、29)、隔离阀(24、34)、排气前级管道(22、36)和排气泵(20、30),它们在需要时用于驱动特定气体。
声明:
“原子层沉积装置和方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
咨询细节
标签:
化学分析
有色金属设备
有色金属技术
有色金属企业
有色金属资讯
有色金属价格
有色金属报告
热门分类
储能电池出口迎来爆发式增长,锂电企业纷纷拓展海外市场 冶金百科 | 铅冶金工艺——火法炼铅(底吹熔炼—鼓风炉还原熔炼—烟化炉烟化法(SKS法)) 原来他们都是中南大学杰出校友! 强势上涨!铜价破8万大关,创18年新高 新能源产业发展方向明确!全国首部新能源产业促进条例发布 填补国内空白!中国首个分布式光伏建设领域安全规程正式发布实施 冶金百科 | 有色冶金固体废物排放情况 冶金百科 | 金银冶金 - 金的物理和化学性质是什么? 金的主要化合物有哪些? 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(五) 冶金百科 | 锌冶金 - 湿法炼锌(一) 被关停!紫金矿业刚果(金)铜钴矿部分产品辐射含量超标 恩捷股份硫化锂量产获突破 加速固态电池材料国产化进程 亿纬锂能:圆柱电池备受偏爱,海外市场“势在必得” 坐在铜矿上的国家​:“铜矿之国”赞比亚到底有多“壕”? 南山铝业第一家海外电解铝项目将落户印尼,规划产能为100万吨 未来科技:太阳能面板与电池搭载无人机,随时随地享受阳光充能! 中原关键金属实验室主任何季麟:建设国家级关键金属创新高地 金属百科 | 稀贵金属—“铼” 钨矿——工业之基,战争金属之王 四川生态修复带来大变化,废弃矿山变绿洲 维里迪斯矿业公司稀土矿项目回收率达到世界最高水平 锂离子电池小百科 | 电池标识及电池性能与测试 冶金百科 | 铝冶金——拜耳法生产氧化铝 冶金百科 | 铅冶金工艺——火法炼铅(三段炉炼铅法) 2025年锂电池行业十大变革性技术 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(四) 军工材料中应用最广泛的金属结构材料——铝合金 历史性时刻!中国新能源汽车的渗透率首次突破50% 中国电建以61亿元成功竞得云浮超大砂石矿权 推动节能降碳!陕西省有色金属行业碳达峰实施方案发布
北方有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

热门专家
更多+

报告下载

铼产业报告(2026)
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传

慧博士报告
更多+

环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记
0.121229s