合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:北方有色 >

有色技术频道 >

> 化学分析技术

> 碳化硅外延片去除外延再生衬底的方法

碳化硅外延片去除外延再生衬底的方法

942   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 08:56:52
本发明公开一种碳化硅外延片去除外延再生衬底的方法,包括:(1)测量外延片的总厚度、平整度最大值以及其外延层上多个点的厚度;(2)计算外延平均厚度、减薄厚度;(3)根据外延平均厚度,依次通过粗砂轮对外延层进行第一减薄处理以及通过细砂轮对外延层进行第二减薄处理,或者直接通过细砂轮对外延层进行第二减薄处理;(4)通过双面刷洗机对减薄处理后的外延片的两面进行冲刷;(5)对多个外延片同时进行至少一次化学机械抛光,以完全去除各外延片的外延层。本发明的方法能够加工更高效、精确更高的去除外延层,保留衬底厚度,并提高CMP的加工效率和质量,实现不合格外延片再生衬底的重利用。
声明:
“碳化硅外延片去除外延再生衬底的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
咨询细节
标签:
化学分析
有色金属设备
有色金属技术
有色金属企业
有色金属资讯
有色金属价格
有色金属报告
热门分类
冶金百科 | 铝冶金——拜耳法生产氧化铝 企业风采 | 青铜峡铝业股份有限公司宁东铝业分公司 CWL-M离心萃取器助力打造湿法冶金绿色萃取车间 没资质千万别碰!无证回收废电池违法! 四川生态修复带来大变化,废弃矿山变绿洲 中原关键金属实验室主任何季麟:建设国家级关键金属创新高地 原来他们都是中南大学杰出校友! 芯片巨头美光科技获61亿美元补贴 钨矿——工业之基,战争金属之王 填补国内空白!中国首个分布式光伏建设领域安全规程正式发布实施 《钴产业发展报告(2025)》重磅发布--助你穿透行业迷雾,把握战略机遇 军工材料中应用最广泛的金属结构材料——铝合金 南山铝业第一家海外电解铝项目将落户印尼,规划产能为100万吨 2.86亿!复合材料龙头获得C轮融资 小知识 | 铝矾土和铝矿石、铝土矿的区别 被关停!紫金矿业刚果(金)铜钴矿部分产品辐射含量超标 冶金百科 | 有色冶金固体废物排放情况 小知识 | 什么是水电铝,水电铝的优势有哪些? 2.06亿元“抢滩”固态电池:华域汽车收购上汽清陶49%股权背后的三重逻辑 小知识 | 金属钼了解一下 锂离子电池小百科 | 电池标识及电池性能与测试 冶金百科 | 铅冶金工艺——火法炼铅(三段炉炼铅法) 欣旺达在固态电池领域取得突破性进展,预计2025年完成产品开发 最快2023年上市!超级“核电池”无需充电能正常使用90年之久 2025年8月中国动力电池行业报告:龙头企业优势明显 恒邦股份荣登2021年《财富》中国500强排行榜294位 冶金百科 | 铜冶金工艺——P-S转炉吹炼 工信部发布第四批《减免车辆购置税的新能源汽车车型目录》 铜业百科 | 铜合金的分类及合金元素的作用 金属材料在芯片工艺上的作用
北方有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

热门专家
更多+

于佳敏有色金属专家
于佳敏

课题组组长 / 讲师

姚志浩有色金属专家
姚志浩

北京科技大学研究生院副院长 / 教授

报告下载

铼产业报告(2026)
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传

慧博士报告
更多+

环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记