合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:北方有色 >

有色技术频道 >

> 化学分析技术

> CMP抛光垫调节器

CMP抛光垫调节器

1136   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 08:56:57
本发明提供一种处理化学机械抛光CMP垫调节器的方法,其包含:提供包含调节器衬底和浆料的所述CMP垫调节器,所述调节器衬底是具有接合到所述调节器衬底的顶面且维氏硬度大于3,000Kg/mm2的多个硬调节器粒子的金属、陶瓷或金属‑陶瓷材料,所述浆料包含含水介质和多个具有大于3,000Kg/mm2的硬度的硬浆料粒子。在CMP设备中使用抛光垫抛光所述垫调节器的表面。在所述抛光之后,每一调节器粒子具有至少一个暴露刻面,且所述多个硬调节器粒子具有20微米的最大平均突起部到突起部平坦度PPF差和通过切割边缘半径CER的值测量的最锐利边缘,所述最锐利边缘对于至少80%的所述刻面处于所述刻面的边缘处。
声明:
“CMP抛光垫调节器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
咨询细节
标签:
化学分析
有色金属设备
有色金属技术
有色金属企业
有色金属资讯
有色金属价格
有色金属报告
热门分类
2025年锂电池行业十大变革性技术 中原关键金属实验室主任何季麟:建设国家级关键金属创新高地 600万吨氧化铝、240万吨电解铝!东方希望大手笔布局拉开帷幕 班坎金矿凸显潜力,或有望成为几内亚最大金矿 西工大王锦程团队:难熔高熵合金激光增材制造取得新突破! 2024年度邱定蕃有色冶金青年科技奖获奖名单 未来科技:太阳能面板与电池搭载无人机,随时随地享受阳光充能! 军工材料中应用最广泛的金属结构材料——铝合金 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(一) 萤石小知识 | 萤石产地在哪?萤石矿的伴生矿有哪些? 小知识 | 什么是钠离子电池?比起锂电池有什么优势? 欣旺达在固态电池领域取得突破性进展,预计2025年完成产品开发 电动汽车超充时代到来!宁德时代发布神行PLUS电池 2025年锂电行业变革:十大关键技术引领行业洗牌 中科固能:总投资60亿,预计2030年之前建成全固态电池产业园 推动节能降碳!陕西省有色金属行业碳达峰实施方案发布 市场竞争加剧,锂电企业纷纷拿出“杀手锏” 日产全固态电池试点生产线预计2025年3月投入运营 南山铝业第一家海外电解铝项目将落户印尼,规划产能为100万吨 开辟新领域!电池企业纷纷布局低空市场 被关停!紫金矿业刚果(金)铜钴矿部分产品辐射含量超标 冶金百科 | 稀土冶金 - 稀土元素原子半径及离子半径变化规律是什么,何谓镧系收缩? 生态环境部印发《固体废物分类与代码目录》,废旧锂电池正式纳入固废管理 新能源产业发展方向明确!全国首部新能源产业促进条例发布 《钴产业发展报告(2025)》重磅发布--助你穿透行业迷雾,把握战略机遇 小知识 | 金属钼了解一下 小知识 | 钛合金是如何制造锻压的?它可以运用到哪些领域? 火电回血、风光失速:大唐发电净利润飙涨47%掀起的“五大电力”排位战 CWL-M离心萃取器助力打造湿法冶金绿色萃取车间 冶金百科 | 锌冶金 - 湿法炼锌(一)
北方有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

热门专家
更多+

报告下载

铼产业报告(2026)
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传

慧博士报告
更多+

环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记