合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:北方有色 >

有色技术频道 >

> 化学分析技术

> 去除碳化硅晶片表面颗粒的清洗方法

去除碳化硅晶片表面颗粒的清洗方法

1065   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 08:57:04
本发明提供了一种去除碳化硅晶片表面颗粒的清洗方法,本发明中的有机清洗通过碱性有机溶剂+机械作用相结合的办法,来去除表面黏着的蜡质、抛光液中的无机研磨液、硅溶胶和其余的大颗粒;无机清洗通过化学药液和机械作用相结合的办法来进一步去除碳化硅表面的小颗粒;表面钝化通过氧化作用来去除碳化硅表面的悬挂键,防止颗粒的再次吸附污染。本发明中的方法清洗的晶片通过Candela 920测试,0.3um以上颗粒数小于300个,合格率可以达到90%以上。
声明:
“去除碳化硅晶片表面颗粒的清洗方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
咨询细节
标签:
化学分析
有色金属设备
有色金属技术
有色金属企业
有色金属资讯
有色金属价格
有色金属报告
热门分类
展商推荐 | 威格科技(苏州)股份有限公司邀您出席第三届全国钒钛资源与储能科技大会 中国电建以61亿元成功竞得云浮超大砂石矿权 日产全固态电池试点生产线预计2025年3月投入运营 市场竞争加剧,锂电企业纷纷拿出“杀手锏” 强势上涨!铜价破8万大关,创18年新高 冶金百科 | 锌冶金 - 湿法炼锌(一) 中科固能:总投资60亿,预计2030年之前建成全固态电池产业园 冶金百科 | 铝冶金——拜耳法生产氧化铝 火电回血、风光失速:大唐发电净利润飙涨47%掀起的“五大电力”排位战 班坎金矿凸显潜力,或有望成为几内亚最大金矿 开辟新领域!电池企业纷纷布局低空市场 原来他们都是中南大学杰出校友! 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(四) 有色金属冶炼行业节能降碳改造升级实施指南 铜业百科 | 铜合金的分类及合金元素的作用 2.86亿!复合材料龙头获得C轮融资 亿纬锂能:2023年实现总营收飙升,同比增长34.38% 小知识 | 什么是水电铝,水电铝的优势有哪些? 冶金百科 | 铅冶金工艺——火法炼铅(底吹熔炼—鼓风炉还原熔炼—烟化炉烟化法(SKS法)) 冶金百科 | 铜冶金工艺——奥图泰闪速熔炼 关于皮带机转运溜槽块料检堵解决方案的研究与改进 | 际科工业控制系统(天津)有限公司与您相约湖南长沙第二届金属矿山采矿设备供应商大会暨标准讨论会! 几秒钟即可充满!韩国研究团队在钠离子电池技术方面取得重大突破 亿纬锂能:圆柱电池备受偏爱,海外市场“势在必得” 为减少进口依赖,欧洲时隔10年重启镁矿开采 冶金百科 | 金银冶金 - 金的物理和化学性质是什么? 金的主要化合物有哪些? 方圆公司赴台技术服务团队凯旋 填补国内空白!中国首个分布式光伏建设领域安全规程正式发布实施 恒邦股份荣登2021年《财富》中国500强排行榜294位 衡水市:独立储能发展布局指导方案印发 耐普矿机董事长郑昊:选矿设备制造宜向大型化、高端化方向发展
北方有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

热门专家
更多+

报告下载

铼产业报告(2026)
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传

慧博士报告
更多+

环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记
0.138638s