合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:北方有色 >

有色技术频道 >

> 化学分析技术

> 基于夹固振膜结构的微声学器件

基于夹固振膜结构的微声学器件

1035   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 08:57:39
基于夹固振膜结构的微声学器件,涉及一种微声学器件的结构设计。该器件由硅衬底和设置在其上的复合膜构成,所述的复合膜由底层向上依次为硅层、热氧层、氮化硅层、低温淀积的二氧化硅层、金属钛粘附层、金属铂下电极层、锆钛酸铁电薄膜层、金属铂上电极层、等离子化学气相淀积的二氧化硅层、金属引线层,该复合膜的四周与硅衬底固结在一起。本实用新型由于采用了四周夹固的振膜结构,并通过优化设计膜层的尺寸,因而有效克服了微声学器件悬臂振膜结构存在的缺陷,具有结构坚固、性能可靠、成品率高的突出性特点。测试表明,其声学灵敏度在10mV/Pa量级,能够满足移动电话、助听器和其他数字通讯系统音频应用的需要。
声明:
“基于夹固振膜结构的微声学器件” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
咨询细节
标签:
化学分析
有色金属设备
有色金属技术
有色金属企业
有色金属资讯
有色金属价格
有色金属报告
热门分类
冶金百科 | 铅冶金工艺——火法炼铅(三段炉炼铅法) Mysteel统计:2023年全球电解铝企业产量TOP15,中国前7席 坐在铜矿上的国家​:“铜矿之国”赞比亚到底有多“壕”? 衡阳市市委书记秦国文到株冶有色调研 冶金百科 | 有色冶金企业单位产品能源消耗——铝冶金企业单位产品能源消耗 磷酸铁锂电池组电芯压差变大的原因及解决方法 西工大王锦程团队:难熔高熵合金激光增材制造取得新突破! 班坎金矿凸显潜力,或有望成为几内亚最大金矿 普鲁士蓝的有趣特性:不只是颜料,还可以用来回收金属,做电池及杀死肿瘤细胞? 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(四) 600万吨氧化铝、240万吨电解铝!东方希望大手笔布局拉开帷幕 中国十大金矿排名!紫金山金铜矿居榜首 2025年锂电池行业十大变革性技术 钨矿——工业之基,战争金属之王 锂离子电池小百科 | 电池标识及电池性能与测试 冶金百科 | 铜冶金工艺——P-S转炉吹炼 小知识 | 什么是钠离子电池?比起锂电池有什么优势? 维里迪斯矿业公司稀土矿项目回收率达到世界最高水平 原来他们都是中南大学杰出校友! 冶金百科 | 有色冶金固体废物排放情况 新能源产业发展方向明确!全国首部新能源产业促进条例发布 南山铝业第一家海外电解铝项目将落户印尼,规划产能为100万吨 冶金百科 | 铝冶金——拜耳法生产氧化铝 《钴产业发展报告(2025)》重磅发布--助你穿透行业迷雾,把握战略机遇 中国电建以61亿元成功竞得云浮超大砂石矿权 冶金百科 | 有色金属冶金基础知识 萤石小知识 | 萤石产地在哪?萤石矿的伴生矿有哪些? 冶金百科 | 锌冶金 - 湿法炼锌(一) 天一萃取离心萃取机荣获“创新星级品牌”奖 没资质千万别碰!无证回收废电池违法!
北方有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

热门专家
更多+

报告下载

铼产业报告(2026)
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传

慧博士报告
更多+

环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记
0.092189s