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无损检测高精度元件缺陷的方法

956   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 08:57:49
本发明公开了一种无损检测高精度元件缺陷的方法,包括:搭建依次设置的且包含X射线光源、源光栅G0、分束光栅G1、分析光栅G2及探测器的光路,该光路中的源光栅G0的周期与分析光栅G2的周期、分束光栅G1的周期与分析光栅G2的周期满足预设条件;将待检测高精度元件放置于分束光栅G1与分析光栅G2之间,对待检测高精度元件进行相位衬度成像,获得待检测高精度元件的折射信号和吸收信号,从而对其缺陷进行检测。采用本发明公开的方法,可以快速高效地检测高精度元件的微小缺陷,适用于非透明物体。
声明:
“无损检测高精度元件缺陷的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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