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无损铜后道可靠性测试工艺

1082   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 08:57:58
本发明涉及半导体制造领域,尤其涉及一种无损后道可靠性测试工艺。本发明一种无损铜后道可靠性测试工艺,通过在后道可靠性测试工艺中,采用常规的1/f噪声系统收集噪声数据信息,并根据该数据信息建立测试器件的可靠性寿命与1/f噪声之间的函数关系,实现无损的后道可靠性评估,不仅降低了工艺成本还减小了测试周期,且在后续的后道工艺中,利用1/f噪声系统采集器件噪声信息数据,根据器件的可靠性寿命与1/f噪声之间的函数关系,能较好的实现后道工艺可靠性的早期预警。
声明:
“无损铜后道可靠性测试工艺” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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