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真空电子器件内部真空度检测方法

1197   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 08:58:20
本发明公开了一种真空电子器件内部真空度检测方法,包括:确定真空电子器件的加电方式和加电参数;将真空电子器件的标准样管与离子流测量系统连接;将标准样管进行抽真空,使标准样管内达到需要对标的真空度;测量标准样管在所对标的真空度下的阳极离子流;测试不同的对标真空度下的离子流,完成离子流与真空度对应关系的标定工作,得到离子流‑真空度标定表或离子流‑真空度量化模型;将真空电子器件的待测样管与离子流测量系统连接;测量待测样管的阳极离子流;对照离子流‑真空度标定表或将所测量的阳极离子流代入离子流‑真空度量化模型,获得待测样管的真空度。本发明能够对真空电子器件内部真空度进行高真空、高测量精度的无损检测。
声明:
“真空电子器件内部真空度检测方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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