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基于光纤光谱仪的光学薄膜厚度检测装置及方法

865   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 08:58:22
本发明公开了一种基于光纤光谱仪的光学薄膜厚度检测装置及方法。光学平台上一侧从上到下顺次设有第一支撑柱、第一固定块,光学平台上另一侧从上到下顺次设有第二支撑柱、第二固定块,第一支撑柱、第二支撑柱上端固定有支撑横梁,支撑横梁下端设有Z向移动轨道,在Z向移动轨道上设有L型固定块,在L型固定块上设有光纤光谱仪探头横梁,在光纤光谱仪探头横梁上设有光纤光谱仪探头,在光纤光谱仪探头右侧设有光学显微镜,光学平台上从下到上顺次设有X、Y步进电控平移台、样品台、待测样品。本发明可以实时在线无损地获得光学薄膜样品不同位置的厚度信息。
声明:
“基于光纤光谱仪的光学薄膜厚度检测装置及方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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