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三角法非接触式光学元件厚度测量仪

946   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-19 08:58:31
本实用新型公开了一种三角法非接触式光学元件厚度测量仪,包括测量仪器本体,所述的测量仪器由光源系统、测量平台、图像获取及处理显示系统组成,所述光源系统分别由LED光源和会聚透镜组成;所述测量平台分别由轴台和凹型测量承座组成;凹型测量承座固定于轴台上,轴台是能沿A-A轴上下移动调节的一维轴台,用于调节凹型测量承座的高度,凹型测量承座内自下而上依次放置有基准元件或待测元件;所述图像获取及处理显示系统分别由镜头、CMOS图像传感器及信息处理显示单元组成。本实用新型具有测量精度高、速度快的特点,适合快速无损检测。
声明:
“三角法非接触式光学元件厚度测量仪” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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