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非接触式光学镜面间隔测量装置

1110   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 08:58:33
本发明涉及一种非接触式光学镜面间隔测量装置,包括:照明模块、光纤模块、两个光纤准直镜头、反射镜、直线位移传感器、光电探测器和机械调平台。本发明提出的非接触式光学镜面间隔测量装置的精度高,镜片间隔测量精度可以达到±1μm,能满足高精度光学系统的装校要求;本发明采用光学相干测量的原理,测量过程中,没有任何机械测量部件与被测镜面接触,不会对被测镜片产生损伤,属于非接触无损测量;本发明自动化程度高,将被测镜头放置在机械调平台上,完成调平之后,整个测量过程就在软件控制下进行,而且,需要的测量时间很短,提高了测量效率。
声明:
“非接触式光学镜面间隔测量装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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