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使用聚焦离子束于供物性失效分析的多层半导体中曝露所欲层的方法

1098   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 08:59:29
一种针对包含多个晶粒的半导体晶片或封装品的缺陷检测方法,这种方法包括对半导体晶片或封装品进行电性失效分析;确认该多个晶粒的至少一个晶粒中的缺陷;在该至少一个缺陷晶粒中确认要进行分析的目标层;以聚焦离子束设备移除已确认的缺陷晶粒的至少一上方层;以及曝露出将供物性缺陷分析的整个目标层。
声明:
“使用聚焦离子束于供物性失效分析的多层半导体中曝露所欲层的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
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