合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:北方有色 >

有色技术频道 >

> 失效分析技术

> 半导体器件电性失效的检测方法

半导体器件电性失效的检测方法

841   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 08:59:31
一种半导体器件电性失效的检测方法,包括:步骤S1:灰阶收集;a、以所述电子束缺陷扫描仪能够扫描的最小区域作为扫描单元区域,通过程式设定为缺陷而被检测,并拍摄电子显微镜图谱;b、以半导体器件作为扫描对象,并在不同条件下扫描,进行灰阶分析;步骤S2:扫描条件筛选,进行电性测试;获得相似度数值;定义最优扫描条件;步骤S3:进行定点灰阶分析,获得电性有效的灰阶收集数据区间;步骤S4:电性失效区域预报。本发明通过电子束缺陷扫描仪所获得的灰阶收集数据与所述电性测试数据进行比较,可有效的预报电性失效区域和电性有效区域,为监测离子注入工艺优劣提供依据,并为即将采取的改善措施提供技术支持,为缩短半导体器件的研发周期提供有力的保障。
声明:
“半导体器件电性失效的检测方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
咨询细节
标签:
失效分析
有色金属设备
有色金属技术
有色金属企业
有色金属资讯
有色金属价格
有色金属报告
热门分类
南山铝业第一家海外电解铝项目将落户印尼,规划产能为100万吨 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(五) 小知识 | 什么是钠离子电池?比起锂电池有什么优势? 萤石小知识 | 萤石产地在哪?萤石矿的伴生矿有哪些? 小知识 | 金属钼了解一下 没资质千万别碰!无证回收废电池违法! 陕西:推出有色金属行业碳达峰实施方案,推动全产业链节能降碳 四川生态修复带来大变化,废弃矿山变绿洲 2.86亿!复合材料龙头获得C轮融资 小知识 | 什么是水电铝,水电铝的优势有哪些? 企业风采 | 青铜峡铝业股份有限公司宁东铝业分公司 金属材料在芯片工艺上的作用 冶金百科 | 有色金属冶金基础知识 冶金百科 | 铅冶金工艺——火法炼铅(底吹熔炼—鼓风炉还原熔炼—烟化炉烟化法(SKS法)) 铝合金应用难题被攻克,服役温度从350℃提升至500℃ 《钴产业发展报告(2025)》重磅发布--助你穿透行业迷雾,把握战略机遇 西工大王锦程团队:难熔高熵合金激光增材制造取得新突破! 欣旺达在固态电池领域取得突破性进展,预计2025年完成产品开发 中原关键金属实验室主任何季麟:建设国家级关键金属创新高地 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(七 ) 火电回血、风光失速:大唐发电净利润飙涨47%掀起的“五大电力”排位战 几秒钟即可充满!韩国研究团队在钠离子电池技术方面取得重大突破 推动节能降碳!陕西省有色金属行业碳达峰实施方案发布 电动汽车超充时代到来!宁德时代发布神行PLUS电池 冶金百科 | 铜冶金工艺——P-S转炉吹炼 方圆公司赴台技术服务团队凯旋 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(四) 冶金百科 | 铜冶金-湿法炼铜小知识(一) 冶金百科 | 铜冶金工艺——奥图泰闪速熔炼 动力电池向高能量密度迭代,固态电池成“兵家必争之地”
北方有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

热门专家
更多+

报告下载

铼产业报告(2026)
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传

慧博士报告
更多+

环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记
0.162208s