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晶圆探测数据的处理方法和计算机可读存储介质

1068   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 09:00:18
本公开提供了一种晶圆探测数据的处理方法和计算机可读存储介质,涉及晶片制造技术领域。其中,晶圆探测数据的处理方法包括:确定已完成的晶圆探测过程中产生的新失效位元;获取新失效位元的修补记录,以及新失效位元的相邻位元的修补记录;解析修补记录,以确定新失效位元和相邻位元的属性信息,属性信息包括位置信息、备用电路信息、新失效位元的单元图形和晶圆探测流程中的至少一种;根据属性信息进行分类学习,以获取失效位元预测模型;通过失效位元预测模型对待进行晶圆探测的失效位元进行预测。通过本公开的技术方案,提高了预测失效位元的可靠性,有利于提升晶圆产品的成品率。
声明:
“晶圆探测数据的处理方法和计算机可读存储介质” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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