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基于等效电路的晶体管可靠性表征方法

1191   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 09:00:37
本发明提供一种基于等效电路的晶体管可靠性表征方法,包括以下步骤:S1、根据晶体管类型确定晶体管的等效电路;S2、确定用于寿命加速试验的应力的类型和大小,并确定等效电路中的敏感参数退化模型;S3、对晶体管进行寿命加速测试;S4、定时采集晶体管的测试数据,提取等效电路敏感参数,得到等效电路敏感参数随应力和时间的变化关系;S5、对所述敏感参数退化模型中的待定常数进行拟合,得到完整敏感参数退化模型和完整等效电路;S6、对晶体管进行失效机制分析和可靠性分析。本发明可用于模拟器件失效机制对电路性能的影响,可以分析晶体管的失效机制,指导工艺改进,还可以预测晶体管的性能退化量和失效时间,缩短可靠性试验时间。
声明:
“基于等效电路的晶体管可靠性表征方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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