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微电子器件可靠性快速评价方法

831   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 09:01:43
微电子器件可靠性快速评价方法,属于微电子技 术领域。本发明的步骤为:1)先测量出微电子器件焦耳热温升; 2)测量该微电子器件的失效敏感参数P在选定温度范围内分别 在不加和加电应力条件下随温度Tj变化的数据,并分别绘制曲线且拟合成直线;3)取3组微电子器件,在三种不同电应力的条件下,进行温度斜坡试验,得到每组微电子器件的平均失效激活能、平均失效时间、平均失效温度范围;4)计算出公式: 中的系数A、m、n;5)计算失效敏感参数P所承受的电热应力的能量;6)计算微电子器件在V、j和Tj分别为正常工作条件下的数值时的寿命τ。本发明可使试验周期缩短、所需试验样品少,大大降低了成本,同时能够给出单样品的寿命。
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