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基于业互联网平台的半导体制造设备维修方法

824   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 09:20:06
本发明公开了一种基于业互联网平台的半导体制造设备维修方法,包括:对小样本失效数据进行处理,所述处理包括数据清洗与特征提取,数据集成与变换;建立基于确定分布、大样本、多源信息的可靠性评估模型,根据可靠性评估模型进行数据可靠性评估;基于时效性和有效性下数据的健康状态评估,根据评估结果进行预防性维修决策;基于深度学习进行数据的特征提取、基于深度置信网络进行特征诊断、基于诊断结果进行预测性状态维修决策;本发明能够提高维修效率,节约维修资源。
声明:
“基于业互联网平台的半导体制造设备维修方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
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