岱美仪器技术服务(上海)有限公司推出的 FSM413 红外激光测厚仪,是一款基于红外干涉(IR)技术的高精度非接触式测量设备,专为半导体、光伏、MEMS 等行业设计。其核心工作原理是通过红外激光束垂直照射样品表面,利用光束在材料内部及界面的多重反射形成干涉条纹,结合光谱分析算法计算薄膜或基底的厚度。该技术适用于所有红外线可穿透的材料(如硅、蓝宝石、玻璃、砷化镓等),可穿透透明或半透明介质直接测量背面结构,无需破坏样品表面。
岱美仪器技术服务(上海)有限公司推出的 FR-pRo 薄膜厚度测量仪,是一款基于白光反射光谱(WLRS)技术的模块化、可扩展光学测量设备,专为科研与工业生产中的薄膜表征需求设计。其核心工作原理是通过分析垂直入射光在薄膜表面及基底界面反射后形成的干涉光谱,结合薄膜材料的光学常数(折射率n、消光系数k),精确计算薄膜厚度。该技术覆盖 200nm-2500nm 波长范围,支持单层至多层透明、半透明薄膜的厚度及光学参数测量,分辨率可达 0.1nm,精度优于 0.2%。
上海阜力测量设备有限公司推出的XULM240型X射线荧光电镀层测厚仪,是一款基于X射线荧光光谱技术的高精度检测设备,专为金属基材表面镀层厚度及成分分析设计。其工作原理为:通过微聚焦X射线管发射高能X射线,激发镀层元素产生特征荧光X射线,比例接收器采集荧光信号并转换为计数率,结合基本参数法计算镀层厚度及元素含量。该技术实现非接触式无损测量,最小测量点可达0.09×0.09mm,支持单层、双层及三层镀层同步分析,测量范围覆盖50nm至100μm,精度在Au镀层厚度>0.1μm时可达±5%(有标准片校准),重复精度±2.5nm(如80nm金层)。
上海遂欧仪器有限公司推出的MPO涂层测厚仪是一款高精度、智能化的便携式检测设备,专为金属基材表面涂层厚度测量设计。其工作原理基于磁感应与电涡流双技术融合:针对铁磁性基材,仪器利用磁感应原理,通过探头与基体间的磁通量变化计算涂层厚度;针对非铁磁性基材,则采用电涡流效应,高频交变磁场在导电基材中产生涡流,通过分析反馈阻抗变化推算涂层厚度。该技术实现非接触式测量,最小测量面积仅为直径φ4mm,测量范围覆盖0-2000μm,分辨率达0.1μm,精度在0-50μm范围内≤±1μm,50-1000μm范围内≤±2%,1000-2000μm范围内≤±3%。
上海理涛自动化科技有限公司推出的LT-034Q全自动测厚仪,是一款基于机械式测量原理的高精度检测设备,专为薄膜、纸张等柔性材料的厚度测量设计。其工作原理为:通过步进丝杆驱动的上下测量头,以恒定压力(17.5±1kPa薄膜/50±1kPa纸张)垂直压合被测材料,利用高精度位移传感器实时捕捉测量头位移变化,结合PLC控制系统将物理位移转化为厚度数据。该技术可实现0-2mm(常规量程,可选0-6mm)的测量范围,分辨率达0.1μm,测量精度±00.02mm(薄膜)。
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