权利要求
1.一种钼铜热沉材料的制备方法，其特征在于，该制备方法步骤如下：
S1、选取原料：钼棒材、铜浆料，准备好模板;
S2、排列模板：将钼棒材排列在模板;
S3、包裹模板：将排列有钼棒材的模板四周进行包裹，形成顶部开口的型腔;
S4、浇筑铜浆料：向型腔中浇筑铜浆料，常温下流平，真空脱泡;
S5、定型脱模：将模板和材料低温固化定型，定型后脱模，得到1-3型结构钼铜复合材料的坯料;
S6、气氛烧结：将1-3型结构钼铜复合材料的坯料进行气氛烧结，得到一种钼铜热沉材料即1-3型结构钼铜复合材料。
2.权利要求1所述的一种钼铜热沉材料的制备方法，其特征在于，步骤S1中，所述钼棒材为方柱形，纯度不低于99.95%;所述铜浆料，粘度50-250pa.s，方阻≤1.5mΩ/sq。
3.如权利要求2所述的一种钼铜热沉材料的制备方法，其特征在于，步骤S2中，所述模板的材质为聚四氟乙烯，且模板上层有方形下沉通道;所述钼棒材呈垂直模板方向置于方形下沉通道。
4.如权利要求3所述的一种钼铜热沉材料的制备方法，其特征在于，步骤S3中，所述包裹材料为聚四氟乙烯，高度等同于钼棒材。
5.如权利要求4所述的一种钼铜热沉材料的制备方法，其特征在于，步骤S4中，所述流平的温度25℃，时间5-20min，真空脱泡时间30-120min。
6.如权利要求5所述的一种钼铜热沉材料的制备方法，其特征在于，步骤S5中，所述低温固化定型为使用隧道炉烘干，温度150℃，时间10-15min。
7.如权利要求6所述的一种钼铜热沉材料的制备方法，其特征在于，步骤S6中，所述气氛烧结为使用氮气气氛烧结炉，峰值温度为950℃，峰值时间为10-20min。
8.如权利要求7所述的一种分级多孔碳铜复合材料的制备方法，其特征在于，所述步骤S6之后，还有步骤S7;所述步骤S7为层状单元分割即将烧结后1-3型结构钼铜复合材料进行层状单元分割，得到超薄钼铜热沉材料;所述层状单元分割为线切割，且单层材料厚度为0.1～2mm。
9.如权利要求3所述的一种钼铜热沉材料的制备方法，其特征在于，步骤S1、S2中，所述钼棒材还可为圆柱形
声明：
“钼铜热沉材料的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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编辑：中冶有色网
来源：长沙升华微电子材料有限公司
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2025年07月09日 ~ 11日 
