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Ni-Mn-Ti基多元合金靶材及其制备方法和薄膜

1050   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 14:33:06
本发明涉及一种Ni‑Mn‑Ti基多元合金靶材及其制备方法和薄膜。首先电弧熔炼制备合金锭子,提高了合金的纯度,致密性,使多种元素得到充分的合金化;后续通过熔体快淬以一定轮速甩出薄带,降低了材料内部的孔隙率,简化了后续热处理工艺,并细化晶粒,使元素分布更趋于均匀;然后将薄带研磨成合金粉末,有效解决了单个元素熔点过低或过高导致的成分不均,在保证原有磁性下,拓宽了相变温跨;最后通过热压制备四元合金靶材。本发明集电弧熔炼与高温热压制备优点为一体,并结合熔体快淬,从而能够制备成分均匀,空隙率低,纯度高,晶粒尺寸小,相变温区跨度宽的靶材;本发明的靶材采用NiMnTi基合金,制备的薄膜具有良好的机械性能,方便后续应力调控,获得多功能薄膜。
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“Ni-Mn-Ti基多元合金靶材及其制备方法和薄膜” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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