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磁控溅射制备纳米多孔金属薄膜的方法

644   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:33:13
一种制备纳米多孔金属薄膜的方法，通过磁控溅射工艺制备。本发明的方法制作工艺简单，并可以常温下制备出纳米多孔金属薄膜；所制备的多孔金属薄膜具有超薄、比表面积大、活性高、膜层均匀、易于微器件集成等特点，可以应用于催化、新能源领域，并可以直接作为超级电容器材料制备微型电容电极。
声明：
“磁控溅射制备纳米多孔金属薄膜的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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