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利用射频磁控制备镁铝复合板的方法

781   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 14:51:01
本发明属于轻质合金技术领域,具体涉及一种利用射频磁控制备镁复合板的方法,包括:(1)基体准备:将清洗后的镁合金基体放入射频磁控溅射设备送样室进行抽真空;(2)预溅镀:分别对溅射腔中的镁靶材和铝靶材进行预溅镀;(3)送样:将镁合金基体送到溅射腔中样品台;(4)洗腔:开启溅射腔进气阀,调节高纯氩气流量和清洗时间;(5)加热基体:将所述镁合金基体进行加热,然后调整样品旋转台持续旋转;(6)溅镀:分别对镁靶材和铝靶材进行射频磁控溅射;(7)冷轧:对溅镀铝的单面进行冷轧处理,获得镁铝复合板。本发明方法制备的镁铝复合板综合性能比较优异,镁和铝之间的层界面实现完全的冶金结合,具有较高的结合强度。
声明:
“利用射频磁控制备镁铝复合板的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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