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钼钛合金溅射靶材板的制备方法

1095   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 14:51:21
本发明公开了一种钼钛合金溅射靶材板的制备方法,将钼粉和钛粉装进三维混料机中,充入氩气,使两种粉末在氩气气氛中充分混合,得到钼钛合金粉末;将钼钛合金粉末放入模具中冷等静压得到预成形坯;将预成形坯抽真空后在氦气气氛下烧结,得到烧结毛坯,最后经过机加工后即得。本发明钼钛合金溅射靶材板的制备方法,采用传统粉末冶金方法,同时在烧结过程中抽真空并通入保护气氛氦气,使得制备得到的钼钛合金溅射靶材板,可以直接生产满足现需求的大尺寸溅射靶材,产品质量得到保证,且该方法成本较低,基本无废料,无污染,可以使钼钛合金溅射靶材板的成本显著降低。
声明:
“钼钛合金溅射靶材板的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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