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固态钽电解电容器及其ALD制备方法

976   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 15:01:02
本发明公开了一种全固态钽电解电容器器件及其ALD制备方法,制备方法包括:使用小电流密度对阳极钽块的Ta2O5介质层进行进一步补形成;使用ALD法在阳极钽块的Ta2O5介质层表面上沉积导电氧化物薄膜;使用导电碳浆、银浆及银丝对沉积的导电阴极层进行阴极电极引出。本发明采用ALD制备导电氧化物阴极薄膜的方法,避免传统液相法中酸性物质及强氧化剂等对Ta2O5介质层带来损害的同时,制备的氧化物阴极材料具有更高的电导率、良好的温宽性、更高的孔隙覆盖率、更强的附着力、大面积的均匀性及优良的致密性等特征,且该沉积过程中无还原性气体及等离子体对Ta2O5介质层产生损害,促进固态钽电解电容器朝小型化、高容量引出率、高频低阻抗及耐高温长寿命的全面发展。
声明:
“固态钽电解电容器及其ALD制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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