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多孔氧化铝膜层及其制备方法

1022   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:02:22
本发明公开了一种多孔氧化铝膜层及其制备方法。该多孔氧化铝膜层的孔径范围为5‑100nm，厚度为5‑100μm。其制备方法包括以下步骤：(1)采用物理气相沉积方法在多孔金属基材表面沉积铝膜；(2)对铝膜进行气氛退火处理；(3)对退火后的铝膜进行表面清洗和电化学抛光；(4)利用阳极氧化法对铝膜进行处理，获得多孔氧化铝膜。采用本发明的方法制备的多孔氧化铝膜层具有膜层孔径可控的特点，膜层内具有规则有序分布的垂直纳米通孔。
声明：
“多孔氧化铝膜层及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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