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具有高硬且疏水特性的保护涂层及制备方法与应用

915   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-02 00:30:08
本发明涉及一种具有高硬且疏水特性的保护涂层及其制备方法,可以应用于切削工具钻探工具等表面改性的技术领域。通过直流溅射Ta以获得更高的溅射率,通过射频溅射Cu以获得低溅射率,最终实现对Cu含量的精确调控并在TaN结构取代Ta实现固溶,破坏Ta和N原子周围的电子结构,引起自发氧化过程并在薄膜表面获得氧化亚,发挥氧化亚铜满壳层电子结构以达到疏水效果,水接触角超过100°。而固溶体的形成进步一增强了TaN的力学性能,提高了硬度,达到35GPa以上。这种涂层的制备方法简单高效,工艺简单,成本低廉,能够广泛应用于地球深部的矿物资源、能源资源的勘探开发、深海探测技术钻探工具及切削工具的保护领域。
声明:
“具有高硬且疏水特性的保护涂层及制备方法与应用” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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