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提高工艺稳定性和水质的超纯水的制备工艺

1169   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 03:45:23
本发明公开了一种提高工艺稳定性和水质的超纯水的制备工艺,包括1级反渗透系统中电动比例阀和泵均由PLC系统控制;PLC系统监控UF超滤系统中超滤的出水SDI值和产水压差,当SDI升高到一定值,进行反冲洗,当产水压差达到一定值进行化学清洗;监控进入MB再生混床的原水的Ph值,调节进水Ph值;监控TOC的进出口电阻值,动态调节抛光树脂罐体数量;监控系统的水温温差变化小于5℃;本发明提供的超纯水工艺可以提高超纯水系统的产水稳定性、减少工艺废水的排放,提高系统的产水率,此外智能超纯水工艺使超纯水系统更加完善,满足半导体行业对超纯水系统更稳定,更可靠,水质更严苛的要求。
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