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离子束清洗设备

1327   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 03:45:25
本申请提供一种离子束清洗设备,包括:离子室,用于提供真空环境;阴极离子源,用于提供电子,与离子室连通,阳极装置,设置于离子室内,阳极装置与阴极离子源构成电场区域;治具组件,设置于离子室内并位于电场区域中,用于承载工件,治具组件包括连接件、第一磁铁和第二磁铁,第一磁铁和第二磁铁相对设置且均套设于连接件,以形成磁场区域,工件套设于连接件并位于第一磁铁和第二磁铁之间,且设置于磁场区域内,连接件与一外部电源的负极电连接,用于牵引电场区域内的正离子至磁场区域内的工件的表面,以清洗工件。该离子束清洗设备,代替传统的化学去膜层方案,避免化学废液的产生及排放,降低废水处理成本,节省成本,同时保护环境。
声明:
“离子束清洗设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
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